■特徴
Gシリーズをグレードアップしたタイプです。
小型、省スペースです。低騒音、低振動、低消費電力です。
■用途
理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
真空排気装置、電子顕微鏡のバック
半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置
真空乾燥器、凍結乾燥器
■仕様
異電圧対応可(お問い合せください)
■注意点
真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油逆流するのを防ぐものです。長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。
排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。
10kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。
排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲー
