■特徴
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。
PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。
真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。
フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
大気圧から高真空領域(1×10[[の5乗]]~1×10[[の-5乗]]Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。
■用途
有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に。
真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に。
ハイドロカーボン(油系)が多い雰囲気での測定に。
真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に。
真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に。
■仕様
表示:デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
レコーダー:0~10V/Log出力
外形寸法:48×70×96mm(表示機ISG1)/69×63×90mm(電離真空計ST200※コントローラー部)/φ40×51(ピラニ真空計SWU10-R※コントローラー部)
■セット内容
ST200-A
SWU10-R
ST200用測定子SWT-25
SWU10-R専用測定子SWP-25
SWU接続用ユニットケーブル0.5m
■材質
測定子フィラメント・白金(Pt)
■注意点
本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。
腐食性ガス(ハロゲンガス)雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。