■特徴
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56%削減）、世界最小クラスです。
PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。
真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。
フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
大気圧から高真空領域（1×10^+5～1×10^-8Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）です。


■用途
半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。
ンライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。
高真空・超高真空装置の圧力測定に。


■仕様
表示：デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
レコーダー：0～10V/Log出力
外形寸法：48×70×96mm(表示機ISG1)/69×63×90mm(電離真空計ST200※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)/φ40×51(ﾋﾟﾗﾆ真空計SWU10-R※ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ部)


■セット内容
SH200-A
SWU10-R
SH200用測定子M45
SWU10-R専用測定子SWP-25
SWU接続用ユニットケーブル0.5m


■材質
測定子フィラメント・白金（Pt）


■注意点
本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。