■用途
分析、供給における高純度ガス供給用(本体SUS製、一次側低圧用)。
■材質
本体: ステンレス(SUS316L)
■注意点
半導体用ガスにはご使用になれません。
1次側使用圧力(MPa) | 1(圧力計なし) | 2次側使用圧力(MPa) | 0.6 |
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型式 | SL-1XX-5X6G-1414 | 出入口接続 | 1/4”スウェージロック |
標準流量(L/min) | 260L/min(nor)(P1=1MPa,P2=0.6MPa,使用ガス:N2ガス) | 流体 | 標準ガス、ゼロガス、高純度ガス |
トラスコ品番 | 268-5850 |
1次側使用圧力(MPa) | 1(圧力計なし) |
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2次側使用圧力(MPa) | 0.6 |
型式 | SL-1XX-5X6G-1414 |
出入口接続 | 1/4”スウェージロック |
標準流量(L/min) | 260L/min(nor)(P1=1MPa,P2=0.6MPa,使用ガス:N2ガス) |
流体 | 標準ガス、ゼロガス、高純度ガス |
トラスコ品番 | 268-5850 |
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