油回転真空ポンプ

■特徴 ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用しています。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。 ■用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置。分析機器、リークテスト装置。真空乾燥、ガス置換など各種真空装置。 ■仕様全閉外扇三相マルチ電圧モーター50Hz：200～240/380～415V対応、60Hz：200～240/380～460V対応サーマルプロテクタなし排気口：VG40相当 2段式ベーン型 ■材質シリンダ：鋳鉄●ポンプケース：アルミ鋳物 ■注意点 VDポンプにはオイルミストトラップは付属されておりません。オイルミストトラップのご購入を推奨します。出荷時は２００Ｖクラスの△結線となっています。本製品を日本国外へ輸出する場合は手続きが必要となるためご一報下さい。

電源(V): 三相マルチ

到達圧力(Pa): 0.67

この商品は5種類の商品があります。

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1 ～ 5件 (全5件)

商品番号	型番	吸気口径(mm)	排気速度(L/min)50/60Hz	出荷目安	販売価格(税込)
A166-0023	VD30C	VG40相当	500/600	当日出荷	376,000円
A166-0024	VD40C	VG40相当	670/800	当日出荷	455,000円
A166-0025	VD60C	VG50相当	1000/1200	3営業日	629,000円
A166-0026	VD90C	VG50相当	1500/1800	3営業日	729,000円
A166-0031	VD301	VG40相当	500/600	廃番	メーカー後継品があります

商品番号 :A166-0023

当日出荷
- 吸気口径(mm) VG40相当
- 排気速度(L/min)50/60Hz 500/600
販売価格 : 376,000円 (税込)
商品番号 :A166-0024

当日出荷
- 吸気口径(mm) VG40相当
- 排気速度(L/min)50/60Hz 670/800
販売価格 : 455,000円 (税込)
商品番号 :A166-0025

3営業日
- 吸気口径(mm) VG50相当
- 排気速度(L/min)50/60Hz 1000/1200
販売価格 : 629,000円 (税込)
商品番号 :A166-0026

3営業日
- 吸気口径(mm) VG50相当
- 排気速度(L/min)50/60Hz 1500/1800
販売価格 : 729,000円 (税込)
商品番号 :A166-0031

廃番
- 吸気口径(mm) VG40相当
- 排気速度(L/min)50/60Hz 500/600
メーカー後継品があります