超薄型ファンフィルターユニット
■特徴 製品高さ145mmで業界トップクラスの薄型です。 豊富なバリエーションで製品モジュールは250×250~610×1220まで対応可能です。 フィルターはHEPA、ULPA、超ULPAに対応します。 電源は従来のAC100V(単相)、AC200V(単相)、AC200V(三相)に加えて、DC12V、24V、48Vにも対応します。 ■用途 半導体、液晶工場 食品工場 理化学機器など。 ■仕様 捕集効率(%):99.99%以上 HEPAフィルター(ATML装備) ■材質 本体:ステンレス(SUS430)
間口(mm): 610
高さ(mm): 145
電源(V): 単相100
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