非接触三次元表面粗さ・形状測定機 OPT-Scope OPT-SCOPE 1
■特徴 非接触の三次元表面粗さ・形状測定機です。 三次元表面性状を非接触で測定することができます。 白色干渉方式のため形状の角度に強いです。 接触式と比較して、短時間での測定が可能です。 独自のピーク検出アルゴリズム(DEAP)により、安定したデータが得られます。 本体、除振台、架台が一体となった機種をご用意しています。(Opt-Scope S) 電動ステージの搭載が可能なレボルバ機能搭載機をご用意しています。(Opt-Scope R) ■仕様 指示精度(Z方向・輪郭)(m):0.8±|2H/100|μ 分解能(Z方向・粗さ)(m):0.1 n 粗さ機能:有り 輪郭機能:有り ■付属品 データ処理装置、三次元粗さ解析ソフト(サーフコムマップオプト)
X軸(mm): 1.7
Z軸(mm): 20
測定範囲X軸(mm): 1.7
電源(V): AC100/110V
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