小形流量センサ ラピフロー FSM3-L201U2BA1B1T-A 1点
■特徴 1台で、空気・窒素・アルゴン・炭酸ガス・混合ガス（混合比Ar：CO2（8：2））の5種類のガスに対応可能な流量センサです。 ■仕様 保護構造：IP40相当（IEC規格） ■注意点 測定流量レンジは、標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）65％Rh）での体積流量に換算します。 （空気以外のガス種では、20℃ 1気圧（101kPa）、相対湿度0％Rh）
使用流体: 圧縮空気、窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス（アルゴン＋炭酸ガス）
接続口径: RC1/4
処理空気流量(［［Ｍ３］］/min): 200
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