安立計器 熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-S-TS1-ANP 1個
【特長】
●AWシリーズは半導体製造装置の開発･プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です
【用途】
●シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等
【仕様】
●使用温度範囲(℃):0～500
●100～200℃における許容差(℃):±5.0
●熱電対の種類:Kタイプ
●ウェーハサイズ(インチ):5
●センサ点数:5
●絶縁被覆材質:石英管
●コードの長さ(m):1
●プラグ形状:ミニプラグ0～500
【注意事項】
●検査成績書は標準付属です。
特徴
AW0505KSTS1ANP
