アズワン マスフローコントローラー 100SCCM-He 3-5067-04
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
アズワン マスフローコントローラー 100SCCM-He 3-5067-04の特徴
●型番：C1005
●フルスケール流量-ガス種：100SCCM-He
●ガス種類：He
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％ 60mA、－15VDC±5％ 150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm
