特徴

●低汚染を追求した材質で製造されています。

●トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。

●パッキン付きですので、気密性に優れています。

●サイズ(mm):91×91×14

●適合ウエハー径(mm):Φ75(3")

●材質:カバー･ケース/ポリカーボネート、クッション/PBT(ポリブチレンテレフタレート)

●セット内容:本体･カバー･スプリング×各1枚

●※本商品はクリーンパックしています。

仕様

入数 1セット
4297902