●減圧、加圧両用のダイアフラム型ポンプです。●吸気口に配管すれば真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。●加圧圧力は150kPaです。

●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。●分析機器、理化学機器。●半導体検査装置。●デバイス組立。●自動機、包装機。

●排気速度(L/min)50/60Hz:30/36●到達圧力(Pa):33.3×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):9●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):142×215.0×180●寸法(mm):142×215.0×180

●減圧・加圧両用●加圧圧力:150kPa●1段排気方式●一台から異電圧に別作対応●加圧圧力(ゲージ圧)(MPa):0.15

●ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。●加圧で使用する場合は、0.15Mpa以下でご使用下さい。