●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。

●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。

●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。

●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。

●半導体製造装置。

●真空蒸着装置、凍結乾燥器。

●医療用機器全般。

●排気速度(L/min)50/60Hz:20/24

●到達圧力(Pa):1.3

●吸気口径(mm):18

●電源(V):単相100

●騒音値(dB):-

●使用油:SMR−100

●全幅×全長×全高(mm):156.0×295.5×199.5

●寸法(mm):156.0×295.5×199.5

●一台から異電圧に別作対応



●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。

●停止時には真空側に油の逆流が発生します。

必ずポンプ内を大気圧に戻してください。

●大気圧近くでの連続運転には不適当です。