アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20
●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
●ロードロック室排気。
●吸着搬送、ハンドリング。
●レーザーガス循環・ 排気用。
●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。
アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の特徴
●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23
●到達圧力(Pa):200
●吸気口径(mm):10
●電源(V):単相100
●寸法(mm):161×327×217
●騒音値(dB):-
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●サーマルプロテクタ付
●到達圧力(KPa):0.2
●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)
アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の仕様
| 原産国 | 日本 |
