■特徴
ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
■用途
吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
■仕様
到達圧力(KPa)：17.3
吸排気管径(mm)：O.D.φ21×I.D.φ15(G1/2)
最大寸法(mm)：388(W)×523.6(L)×274(H)
■注意点
ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。
