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■特徴

耐熱高性能フィルタを採用、温度安定時の槽内はクラス100(ISO:クラス5)を維持しながら処理可能です。

残留酸素濃度20ppm以下を実現する高性能オーブンです(供給窒素ガスの残留酸素濃度5ppm以下時)。


■仕様

オートチューニング付PID制御