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■特徴

耐熱性HEPAフィルタを採用、温度安定時の槽内はクラス100（ISO：クラス5）を維持しながら処理可能です。

オプションの窒素導入システムを装備することで、槽内残留酸素濃度100ppm以下（参考）を実現します。


■仕様

オートチューニング付PID制御