●プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。
プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色するので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。
●O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
●感度:中感度
●形状:シート
●入数:5枚
●対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用(O2 N2 Air CF4 H2 NH3 (Ar))
●耐熱性:100℃
●材質:本体/PETフィルム 検知部/有機色材 レジン
●大きさ:本体:210×297×0.2mm 検知部:190×290mm
※代表画像です。
