●スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。
●外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。
●【用途】
●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸 調整装置の微細送りなど
●測定範囲(mm):0～6.5
●目量(mm):0.002
●ステム形状:ナット付
●先端形状:球面(SR4)
●目盛仕様:正目盛
●器差(μm):±2
●測定面:材質/合金工具、鋼硬度/60HRC以上ラップ仕上げ
●目盛部表面処理:硬質クロムメッキ
