【特長】

●スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。

●外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。

●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。

【仕様】

●測定範囲(mm):0~6.5

●目量(mm):0.002

●ステム形状:ストレート

●先端形状:球面(SR3)

●目盛仕様:正目盛

●最大許容誤差(μm):±5

●測定面材質:合金工具鋼

●硬度:60HRC以上、ラップ仕上げ

●目盛部表面処理:硬質クロムメッキ