■用途
分析、供給における高純度ガス供給用(本体SUS製、二段減圧式)。
■セット内容
JIS2号ホース口、1/4ストレート単管(ステンレス製)、袋ナット
■材質
本体: ステンレス(SUS316L)
■注意点
半導体用ガスにはご使用になれません。
1次側使用圧力(MPa) | 15 | 2次側使用圧力(MPa) | 0.2 |
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型式 | S2-1VR-1G8G-B1N1 | 出口接続 | M16x1.5右オス、ニードルバルブ付 |
入口接続 | W22-14右メス | 標準流量(L/min) | 200L/min(nor)(P1=8MPa,P2=0.6MPa,使用ガス:N2ガス) |
流体 | 標準ガス、ゼロガス、高純度ガス | トラスコ品番 | 268-5841 |
1次側使用圧力(MPa) | 15 |
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2次側使用圧力(MPa) | 0.2 |
型式 | S2-1VR-1G8G-B1N1 |
出口接続 | M16x1.5右オス、ニードルバルブ付 |
入口接続 | W22-14右メス |
標準流量(L/min) | 200L/min(nor)(P1=8MPa,P2=0.6MPa,使用ガス:N2ガス) |
流体 | 標準ガス、ゼロガス、高純度ガス |
トラスコ品番 | 268-5841 |
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