■特徴
製品高さ145mmで業界トップクラスの薄型です。
豊富なバリエーションで製品モジュールは250×250~610×1220まで対応可能です。
フィルターはHEPA、ULPA、超ULPAに対応します。
電源は従来のAC100V(単相)、AC200V(単相)、AC200V(三相)に加えて、DC12V、24V、48Vにも対応します。
■用途
半導体、液晶工場
食品工場
理化学機器など。
■仕様
捕集効率(%):99.99%以上
HEPAフィルター(ATML装備)
■材質
本体:ステンレス(SUS430)