■特徴
筐体材質をABSからPBTに変更することにより構造的な更なる強化と熱や溶剤に強くなりました。
耐オゾン性をアップさせた多彩なノズルアプリケーションです。
高圧停止アラーム：高圧が停止した場合アラーム表示と無信号接点のノーマルオープン、ノーマルクローズの2接点を搭載しています。
メンテナンスが容易:放電針はメンテナンスが簡単な脱着式で、後方部よりトランスごと引き抜き、放電針の清掃、交換が容易に行えます。
クリーニングチェック「C.C」：放電針からの異常放電を検知し、LED表示で知らせます。
またノーマルオープンの無信号接点も搭載しています。
■用途
ウエハーレベルの除電(フィルムはく離時やキャリア周辺の除電)に。
ダイシング装置での除電(フィルムはく離時やキャリア周辺の除電)に。
デバイス検査装置に。
パッケージ後の搬送時のESD対策に。
■仕様
本体寸法：86.5L×18W×50H(突起物含まず)
使用環境温度：10～40℃
■セット内容
電源
信号ケーブル（2.5ｍ）
■材質
本体：PBT
カバー：ステンレス
放電針：タングステン
■注意点
本製品は非防爆使用です。
可燃性ガスや溶剤を取り扱う場所、雰囲気での設置、使用はしないでください。
着火、爆発のおそれがあります。
