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特徴

・ろ材にPTFE製メンブレンを使用しているため耐薬品性、低溶出性及び除粒子性能に優れています。

・高純度の薬品(フォトレジスト、洗浄薬液、現像液など)のろ過に適用・100%完全性試験を実施済みです。

仕様

・ろ過精度:0.2μm

・長さ:10インチ・端末/接続形状:DOEガスケット・最高使用温度:85℃・有効ろ過面積:0.74m2・構成パーツ材質:ポリプロピレン・ガスケット形状(mm):平型5

材質

・ろ材材質:PTFE・ガスケット材質:ソフトPTFE t=5mm