特徴

･ろ材にPTFE製メンブレンを使用しているため耐薬品性、低溶出性及び除粒子性能に優れています。

･高純度の薬品(フォトレジスト、洗浄薬液、現像液など)のろ過に適用･100％完全性試験を実施済みです。

仕様

･ろ過精度:0.2μm

･長さ:20インチ･端末/接続形状:DOEガスケット･最高使用温度:85℃･有効ろ過面積:0.74m2･構成パーツ材質:ポリプロピレン･ガスケット形状:薄手鍔付き

材質

･PTFE･ガスケット材質:EPR