■特徴
非接触の三次元表面粗さ・形状測定機です。
三次元表面性状を非接触で測定することができます。
白色干渉方式のため形状の角度に強いです。
接触式と比較して、短時間での測定が可能です。
独自のピーク検出アルゴリズム（DEAP）により、安定したデータが得られます。
本体、除振台、架台が一体となった機種をご用意しています。（Opt-Scope S）
電動ステージの搭載が可能なレボルバ機能搭載機をご用意しています。（Opt-Scope R）
■仕様
指示精度(Z方向・輪郭)(m)：0.8±｜2H/100｜μ
分解能(Z方向・粗さ)(m)：0.1 n
粗さ機能：有り
輪郭機能：有り
■付属品
データ処理装置、三次元粗さ解析ソフト（サーフコムマップオプト）
