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特徴



サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。
高真空が得られる2段排気方式です。
持ち運びが簡単で、装置組込用としても最適です。
吸気管直下型逆流防止弁およびポンプ内部大気開放機構の搭載により装置側へのオイル逆流を防止。
マグネットカップリングの採用により軸シール部の長寿命化と低騒音を実現しています。


■用途
減圧PQ100