■特徴 DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。 マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。 ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。 ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。 ■用途 分析機器、CVD装置に。 真空乾燥器、凍結真空乾燥器。 Heリークテスト、CO2ガスレーザー。 真空脱泡、真空熱処理。 液晶注入。 ■仕様 排気速度(m［［の３乗］］/h)：50 吸入口(JIS)：VG-40 吐出口(JIS)：VF-40 最大寸法(mm)：167(W)×410(L)×130(H) ■注意点 メカニカルブースタポンプは、単体で使用できません。必ず補助ポンプと組み合わせてください。 メカニカルブースタポンプは、インラインで使用する設計となっています。吐出側のフランジを固定し、このフランジにポンプを取付けてください。 初期運転および長期間運転していない場合、起動時に潤滑油が泡立ちますので、補助ポンプで脱気のための排気を行ってください。 大気圧近辺での運転は、補助ポンプの排気速度と同じ程度になるため、ブースターの特長が発揮されません。 潤滑油が規定量を超えると、ロータ室内部に油が入ります。...

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4. 真空ポンプ･真空ユニット

ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40D●カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダ内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。●接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。●加圧専用タイプもあります。●真空チャック、真空ピンセット。●食品包装機、真空成型機。●吸着搬送。●自動機等の真空吸着搬送。●真空包装、印刷機械。●吸引機。●チップマウンター。●排気速度(L/min)50/60Hz:40/44●到達圧力(Pa):1.2×10［［の3乗］］●吸気口径(mm):9●電源(V):単相100●騒音値(dB):-●全幅×全長×全高(mm):160×270×179●寸法(mm):160×270×179●2段式排気方式●一台から異電圧に別作対応●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。 ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40Dの特徴●排気速度(L/min)50/60Hz：40/44●到達圧力(Pa)：1.2×10［［の３乗］］●吸気口径(mm)：9●電源(V)：単相100●全幅×全長×全高(mm)：160×270×179●騒音値(dB)：-●寸法(mm)：160×270×179●2段式排気方式●一台から異電圧に別作対応 ULVAC ULVAC　単相100V　揺動ピストン型ドライ真空ポンプ 300 x 220 x 240 mm DOP-40Dの仕様サイズ300 x 220 x 240 mm重量8.4 kg原産国日本揺動ピストン型ドライ真空ポンプ;DOP40D...

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■特徴 油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。 ■仕様 KF-25...

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アルバック機工 DA-120S単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度120/144 DA-120S 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：120/144到達圧力(Pa)：13.3×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：14電源(V)：単相200全幅(mm)：162全長(mm)：358全高(mm)：238.0ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA120S200V...

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●耐食性に優れた合成油系のオイルです。 ●容量:18L ●動粘度:63.7mm2/s ●推奨ポンプ:油回転真空ポンプGCDシリーズ ※代表画像です。 ...

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4. 真空ポンプ用部品･オプション

アルバック機工 KF-25排気管 KF-25×G1 EXHAUST PIPE KF-25 X G1 1点■特徴油回転真空ポンプの排気側取付用部品です。■仕様KF-25特徴EXHAUSTPIPEKF25XG1...

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■特徴 ●KF-25の吸気管をM20に変換するためのアダプターです。 ■仕様 ●サイズ：□40×Ｍ20×P1 ●吸気アダプター　ZDC+メッキ製 ●材質：アルミニウム ●重量：約100g ●スーパーデラックスタイプ ●※GLD-051(1-898-01)にのみ対応しています。 ...

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●アルカリ性溶剤、塩酸･酢酸などに対する耐食性に優れ、特殊な溶液あるいは特殊なガスを吸う真空引に最適なポンプです。 ※ポンプ本体への取り付けには別途クランプが必要です。 ●排気速度(50/60Hz):200/240L/分 ●到達圧力:0.67Pa ※ガスバラスト バルブ付(バルブ開放時:6.7Pa) ●吸入口:KF-25 ●大きさ:170×509.5×241.1mm ●重量:26.6kg ●電源:三相 200V ※代表画像です。 ...

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アルバック機工 DA-241SE単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度240/260 DA-241SE 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：240/260到達圧力(Pa)：16.0×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：16電源(V)：単相200全幅(mm)：207全長(mm)：411全高(mm)：285ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA241SE200V...

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■仕様 参考寿命：6000～8000h 部品名：ダイアフラム...

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■特徴 加圧専用タイプとなります。 ■用途 自動機の加圧源 空圧機器、印刷機器 耳鼻科・歯科用機器 空気圧計測器 酸素濃縮装置 ■仕様 異電圧対応可(お問い合せください) ■注意点 負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。 腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。 ポンプの摺動材であるカップパッキンは運転により磨耗し、磨耗粉が発生いたします。また、使用している摺動材は水分に弱いため、吸引した場合磨耗が促進され寿命が低下します。水分及 屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。 ポンプを装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付けネジサイズはM5×P0.8です。また、ポンプ側に取付けられる防振ゴムのネジの長さは10mmを超えないよ...

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アルバック機工 DAP12S単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度12/14 DAP-12S 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：12/24到達圧力(Pa)：24.0×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：Rc1/8電源(V)：単相200全幅(mm)：91全長(mm)：163全高(mm)：100.6ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DAP12S200V...

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※代表画像です。 ...

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アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・ 排気用。●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の特徴●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23●到達圧力(Pa):200●吸気口径(mm):10●電源(V):単相100●寸法(mm):161×327×217●騒音値(dB):-●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●サーマルプロテクタ付●到達圧力(KPa):0.2●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の仕様 原産国日本DAU20...

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アルバック機工 DA-40S単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度40/46 DA-40S 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：40/46到達圧力(Pa)：19.9×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：9電源(V)：単相200全幅(mm)：128全長(mm)：242全高(mm)：178.0ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA40S200V...

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アルバック機工 DA-121DE単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度120/145 DA-121DE 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：120/145到達圧力(Pa)：3.3×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：16電源(V)：単相200全幅(mm)：193.5全長(mm)：411全高(mm)：285ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA121DE200V...

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アルバック機工 KF25吸気管BS M20×P1×KF25 1個■仕様●サイズ：M20×P1×KF25●KF25吸気管BS＋メッキ製●G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA用特徴M20×P1×KF25...

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■特徴 ●KF-25の吸気管をM20に変換するためのアダプターです。 ●KF-25吸気管機種に適用し、標準吸気管を取り外さずに取り付けることができます。 ■仕様 ●仕様：KF25吸気アダプター ●サイズ：KF25×M20×P1 ●材質：真鍮+メッキ ●重量：200g ...

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■特徴 ●低騒音で低振動 ●2段排気方式で、1段排気方式より低い圧力（良い真空） ●逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際、真空室への油の逆流を抑制 ●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定 ●大気圧からの作動が可能 ●内部部品のノックピンによる連結及びフランジモーターにより、メンテナンスが容易 ■仕様 ●実行排気速度：50Hz／280L/min、60Hz／336L/min ●到達圧力：G.V.Closed／0.67Pa、G.V.Open／6.7Pa ●使用電動機：3相、200-240V/380-460V、750W、4P ●全負荷電流（A） ●▼50Hz：3.6（200V）、3.7（220V）、4.0（230V）、4.2（240V）、2.1（380V）、2.3（400V）、2.4（415V） ●▼60Hz：3.3（200V）、3.2（220V）、3.2（230V）、3.2（240V）、1.9（380V）、1.9（400V）、1.9（440V）、2.0（460V） ●油量：700～1,100mL ●使用オイル：R-7 ●質量：34.5kg ●吸気管径：KF-25 ●使用雰囲気温度範囲：7～40℃ ●最大寸法：181（W）×536（L）×269（H） ●RoHS対応：○ ●※到達圧力はピラニ真空計による測定値です。 ●※電源プラグ及び電源コードは付属していません。 ...

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■特徴 ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。 修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。 ■用途 お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。 ■セット内容 ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2...

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■特徴 Gシリーズをグレードアップしたタイプです。 小型、省スペースです。低騒音、低振動、低消費電力です。 ■用途 理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器 真空排気装置、電子顕微鏡のバック 半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置 真空乾燥器、凍結乾燥器 ■仕様 異電圧対応可(お問い合せください) ■注意点 真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。 逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油逆流するのを防ぐものです。長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。 排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。 10kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。 排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲー...

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