アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20●ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。●複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。●広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。●ロードロック室排気。●吸着搬送、ハンドリング。●レーザーガス循環・ 排気用。●真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の特徴●排気速度(L/min)50/60Hz:20/23●到達圧力(Pa):200●吸気口径(mm):10●電源(V):単相100●寸法(mm):161×327×217●騒音値(dB):-●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●サーマルプロテクタ付●到達圧力(KPa):0.2●吸排気管径(mm):O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)●最大寸法(mm):161(W)×327(L)×218(H)アルバック機工 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20の仕様 原産国日本DAU20...

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アルバック機工 DA-40S単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度40/46 DA-40S 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：40/46到達圧力(Pa)：19.9×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：9電源(V)：単相200全幅(mm)：128全長(mm)：242全高(mm)：178.0ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA40S200V...

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アルバック機工 DA-121DE単相200V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 排気速度120/145 DA-121DE 200V 1点■特長ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。■用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。■仕様排気速度(L/min)50/60Hz：120/145到達圧力(Pa)：3.3×10［［の３乗］］吸気口径(mm)：16電源(V)：単相200全幅(mm)：193.5全長(mm)：411全高(mm)：285ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。特徴DA121DE200V...

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アルバック機工 KF25吸気管BS M20×P1×KF25 1個■仕様●サイズ：M20×P1×KF25●KF25吸気管BS＋メッキ製●G-10DA・25SA・20DA・50SA・50DA用特徴M20×P1×KF25...

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■特徴 ●低騒音で低振動 ●2段排気方式で、1段排気方式より低い圧力（良い真空） ●逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際、真空室への油の逆流を抑制 ●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定 ●大気圧からの作動が可能 ●内部部品のノックピンによる連結及びフランジモーターにより、メンテナンスが容易 ■仕様 ●実行排気速度：50Hz／280L/min、60Hz／336L/min ●到達圧力：G.V.Closed／0.67Pa、G.V.Open／6.7Pa ●使用電動機：3相、200-240V/380-460V、750W、4P ●全負荷電流（A） ●▼50Hz：3.6（200V）、3.7（220V）、4.0（230V）、4.2（240V）、2.1（380V）、2.3（400V）、2.4（415V） ●▼60Hz：3.3（200V）、3.2（220V）、3.2（230V）、3.2（240V）、1.9（380V）、1.9（400V）、1.9（440V）、2.0（460V） ●油量：700～1,100mL ●使用オイル：R-7 ●質量：34.5kg ●吸気管径：KF-25 ●使用雰囲気温度範囲：7～40℃ ●最大寸法：181（W）×536（L）×269（H） ●RoHS対応：○ ●※到達圧力はピラニ真空計による測定値です。 ●※電源プラグ及び電源コードは付属していません。 ...

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■特徴 ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです。 修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです。 ■用途 お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。 ■セット内容 ダイアフラム×4、バルブ×6、バルブ穴あり×2...

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■特徴 Gシリーズをグレードアップしたタイプです。 小型、省スペースです。低騒音、低振動、低消費電力です。 ■用途 理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器 真空排気装置、電子顕微鏡のバック 半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置 真空乾燥器、凍結乾燥器 ■仕様 異電圧対応可(お問い合せください) ■注意点 真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。 逆流防止弁機構は、停電時等の緊急時に真空槽側にポンプ油逆流するのを防ぐものです。長時間停止する場合には真空側を大気圧に戻してください。 排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。 10kPa以上の高い吸入圧力での連続運転には適しません。 排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲー...

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