ULVAC 単相100V ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
■特徴 ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。 ■用途 広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ クライオポンプ排気系のバックポンプ メカニカルブースターポンプのバックポンプ ロードロック室排気 吸着搬送、ハンドリング レーザーガス循環･排気用 真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置 ■仕様 異電圧対応可(お問い合せください) ■注意点 腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。 また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。 屋内専用のポンプです。 雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。
吸気口径(mm): KF-16
電源(V): 単相100
到達圧力(Pa): 266
排気速度(L/min)50/60Hz: 100/110
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