熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-A-TS1-ANP 1個
安立計器 熱電対付きシリコンウェーハ AW-0505K-A-TS1-ANP 1個【特長】●AWシリーズは半導体製造装置の開発・プロセス条件出しや温度分布計測に必要不可欠な”熱電対付きシリコンウェーハ”です【用途】●シリコンウェーハを用いた半導体製造工程でのレジスト装置内のステージ温度測定等【仕様】●使用温度範囲(℃):0~500●100~200℃における許容差(℃):±5.0●熱電対の種類:Kタイプ●ウェーハサイズ(インチ):5●センサ点数:5●絶縁被覆材質:アルミナ繊維スリーブ●コードの長さ(m):1●プラグ形状:ミニプラグ0~500【注意事項】●検査成績書は標準付属です。特徴AW0505KATS1ANP
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